Входная мощность
 

• 220 В переменного тока, 50/60 Гц, однофазный
• 800 Вт (включая насос)
• Если напряжение 110 В переменного тока, требуется трансформатор мощностью 1000 Вт, пожалуйста, нажмите на картинку слева, чтобы заказать

Источник питания

• Один  ВЧ-генератор мощностью 13,5 МГц, 300 Вт с  функцией автоматического согласования встроен в шкаф и подключен к 2-дюймовой распылительной головке.
• Дополнительно: доступен источник постоянного тока для распыления для покрытия металлических материалов. 

Головка для магнетронного распыления


 

• Одна 2-дюймовая головка для магнетронного распыления с рубашками для водяного охлаждения входит в комплект и вставляется в кварцевую камеру с помощью быстрого зажима.
• Одна заслонка построена на фланце (с ручным управлением)
• Для охлаждения магнетронных распылительных головок требуется один рециркуляционный водоохладитель на 16 л / мин с цифровым управлением.
• 1-дюймовая распылительная головка заменяется и приобретается дополнительно за дополнительную плату.
• Радиочастотный кабель длиной 148 см заменяется за дополнительную плату.   
•         

Мишень для распыления

• Требование к целевому размеру: диаметр 2 дюйма x толщина 1/4 дюйма Макс.
• Одна мишень SiO2 включена для демонстрационного теста.
• Керамическая мишень из Al2O3   Рекомендуемый метод нанесения покрытия
• Дополнительно 2" распыляемых мишеней (с опорной пластиной) предоставляются по запросу за дополнительную плату.

Вакуумная камера
 

• Вакуумная камера: внешний диаметр 160 мм x внутренний диаметр 150 мм x высота 250 мм. изготовлен из кварца высокой чистоты
• Уплотняющий фланец: диаметр 165 мм. из алюминия с высокотемпературным силиконовым уплотнительным кольцом
• В комплект входит сетчатая крышка из нержавеющей стали для 100% экранирования радиочастотного излучения из камеры.
• Уровень вакуума: 1.0E-2 Торр с включенным двухступенчатым механическим насосом и 1.0E-5 Торр с дополнительным турбонасосом

Держатель образца

• Держатель образца вращающийся и нагреваемый, изготовлен из керамического нагревателя с крышкой из нержавеющей стали.
• Размер держателя образца: диаметр 50 мм. для 2-дюймовой пластины макс.
• Скорость вращения регулируется: от 1 до 10 об / мин для равномерного покрытия.
• Температура держателя регулируется от RT до 500 ° C Max с точностью +/- 1,0 ° C с помощью цифрового контроллера температуры.
• Держатель образца для нагрева 800-1000 ° C предоставляется по запросу.
• Дополнительный вибрационный держатель образца доступен для нанесения покрытия PVD. (Рис 3 ниже)
•  

Вакуумная насосная станция

 

• KF25 Вакуумный порт встроен для подключения к вакуумному насосу.
• Требуется вакуумный насос с адаптером KF25, но он не входит в комплект поставки. Щелкните изображение, чтобы заказать его отдельно.
• Уровень вакуума: 1.0E-2 Торр с двухступенчатым механическим насосом и 1.0E-5 Торр с турбонасосом

Необязательный

• Дополнительный прецизионный кварцевый датчик толщины может быть встроен в камеру для контроля толщины покрытия с точностью до 0,10 Å. Ноутбук необходим для отображения толщины экрана
•              

Общие размеры

Нетто

• 70 кг

Гарантия и соответствие
 

• Ограниченная гарантия сроком на один год с пожизненной поддержкой
• CE сертифицирован
• Сертификация NRTL или CSA доступна по запросу за дополнительную плату.

Примечания по применению

• Этот компактный 2-дюймовый ВЧ магнетронный распылитель разработан для нанесения тонких оксидных пленок на оксидные монокристаллические подложки, что обычно не требует установки в высоком вакууме.
• Пожалуйста, используйте газ Ar чистотой> 5N для плазменного распыления.
• Для лучшей адгезии пленки к подложке, пожалуйста, очистите поверхность подложки перед нанесением покрытия:
  • Ультразвуковая очистка в следующих последовательных ваннах - (1) ацетон, (2) изопропиловый спирт - для удаления масла и жира. Высушите основу с помощью N2, затем запекайте в вакууме, чтобы удалить впитавшуюся влагу.
  • Плазменная очистка может потребоваться для придания шероховатости поверхности, активации поверхностных химических связей или дополнительного удаления загрязнений.
  • Тонкий буферный слой (~ 5 нм), такой как Cr, Ti, Mo, Ta, может быть нанесен для улучшения адгезии металлов и сплавов.
• Для лучшей производительности, непроводящие цели должны быть установлены с медным опорной плитой. Пожалуйста, обратитесь к видеоинструкции ниже (# 3) для целевого приклеивания.
• TMAX использует оборудование для нанесения покрытий, успешно нанесшее ZnO на  подложку из Al 2 O 3 при 500 ° C (профиль XRD на Рис. 5).
• НЕ используйте водопроводную воду в водоохладителях. Используйте деионизированную воду, дистиллированную воду или антикоррозионные добавки в качестве красителя.
• 
•