Функции

• 5 магнетронных распылителей для 5 различных материалов мишени
• В зависимости от используемых источников питания (RF или DC) можно наносить как металлические, так и неметаллические материалы. 
• Возможность распыления 5 целевых материалов для получения различных композиций за счет разного времени / скорости распыления
• С дополнительными 5 источниками питания можно распылять 5 целевых материалов одновременно для комбинаторного распыления.
• 16 образцов могут быть размещены за одну партию с помощью маски и вращающегося держателя образцов

Входная мощность
 

• Однофазный 220 В переменного тока, 50/60 Гц
• 1000 Вт (включая вакуумный насос и чиллер)

Источник питания

• Один ВЧ-генератор с автоподстройкой 13,5 МГц и мощностью 300 Вт включен в комплект и подключен к распылительным головкам.
• Поворотный переключатель может активировать одну распылительную головку за раз. При многослойном процессе распылительные головки можно переключать «в плазме» без нарушения вакуума.
• Несколько источников питания RF являются дополнительными, что позволяет пользователю распылять несколько мишеней одновременно для комбинаторного распыления.
• Ноутбук с управляющим программным обеспечением доступен за дополнительную плату для контроля времени распыления и мощности каждого высокочастотного пистолета

Необязательный

• Вы можете выбрать источник постоянного тока для распыления металлических мишеней.
• С пятью источниками постоянного или высокочастотного питания можно одновременно распылять 5 материалов мишени для комбинаторного распыления.

Головка для магнетронного распыления

 

• В комплект входят пять 1-дюймовых магнетронных распылительных головок с кожухами водяного охлаждения, которые вставляются в кварцевую камеру с помощью быстроразъемных зажимов.
• Замену радиочастотного кабеля можно приобрести на TMAX.
• На фланце встроена одна заслонка с ручным управлением (см. Рис. 3).    
• Один циркуляционный водоохладитель на 10 л / мин с цифровым управлением включен для охлаждения распылительных головок.
• 

Мишень для распыления

• Требование к целевому размеру: диаметр 1 дюйм x толщина 1/8 дюйма макс.
• Диапазон расстояний распыления: 50-80 мм регулируется
• Диапазон углов распыления: 0-25 ° регулируемый 
• Медная мишень диаметром 1 дюйм и мишень из Al 2 O 3  включены для демонстрационных испытаний.
• Различные мишени для распыления оксидов 1 ”доступны по запросу за дополнительную плату.
• Для приклеивания к мишени в комплект входят медные опорные пластины 1 мм и 2 мм. Серебряная эпоксидная смола (Рис. 1) и дополнительные медные опорные пластины (Рис. 2) можно заказать на TMAX.

Вакуумная камера

• Вакуумная камера изготовлена ​​из нержавеющей стали 304 с ребром жесткости. 
• Размер внутренней вакуумной камеры:   470 мм Д × 445 мм Д × 522 мм В (~ 105 литров, 18,5 x 17,5 x 20,5 дюймов)
• Круглый диаметром 380 мм. Распашная дверь со стеклянным окном диаметром 150 мм
• Диапазон температур: от -15 до 150 ° C
• Уровень вакуума: 4.0E-5 торр с турбонасосом

Держатель образца

• Вращающийся держатель образцов диаметром 150 мм для покрытия 16 образцов на одну партию разными составами
• Держатель образца и вращение маски можно контролировать вручную с помощью кнопки или автоматически с помощью управляющего программного обеспечения (необязательно)
• Температура держателя образца регулируется от комнатной до 600 ° C макс. 

Вакуумный насос
 

• Вакуумный порт KF40 встроен для подключения к вакуумному насосу.
• Компактный турбонасос в комплекте
• 4.0E-5 Торр с дополнительным турбонасосом 

Необязательный

• Прецизионный кварцевый датчик толщины не является обязательным. Его можно встроить в камеру для контроля толщины покрытия с точностью до 0,1 Å (требуется водяное охлаждение).
  • Простое USB-подключение к ПК для удаленного контроля толщины и скорости нанесения покрытия
  • В комплекте 5 кварцевых датчиков (расходные материалы) 

Нетто

• 60 кг

Согласие

• Сертификат CE
• Сертификат MET (UL 1450) предоставляется по запросу за дополнительную плату, пожалуйста, свяжитесь с нашим торговым представителем для получения расценок. 

Гарантия 

• Ограниченная гарантия сроком на один год с пожизненной поддержкой 

Примечания по применению
  

• Эта компактная 1-дюймовая установка для нанесения покрытий с магнетронным распылением предназначена для нанесения тонких оксидных пленок на оксидные монокристаллические подложки, которые обычно не требуют установки в высоком вакууме.
• На газовом баллоне должен быть установлен двухступенчатый регулятор давления (не входит в комплект), чтобы ограничить выходное давление газа до уровня ниже 0,02 МПа для безопасного использования. Пожалуйста, используйте газ Ar чистотой> 5N для плазменного распыления.
• Для лучшей адгезии пленки к подложке, пожалуйста, очистите поверхность подложки перед нанесением покрытия:
  • Ультразвуковая очистка в следующих последовательных ваннах - (1) ацетон, (2) изопропиловый спирт - для удаления масла и жира. Высушите основу с помощью N2, затем запекайте в вакууме, чтобы удалить впитавшуюся влагу.
  • Плазменная очистка может потребоваться для придания шероховатости поверхности, активации поверхностных химических связей или дополнительного удаления загрязнений.
  • Тонкий буферный слой (~ 5 нм), такой как Cr, Ti, Mo, Ta, может быть нанесен для улучшения адгезии металлов и сплавов.

• Для лучшей производительности, непроводящие цели должны быть установлены с медным опорной плитой. Пожалуйста, обратитесь к видео с инструкциями ниже (# 3) для целевого связывания.
• TMAX поставляет монокристаллическую подложку от А до Я
• Установки для плазменного напыления TMAX RF успешно нанесли ZnO на  подложку из Al 2 O 3 при 500 ° C.
• Проверьте гибкость тонкопленочного электрода / электрода с покрытием с помощью  тестера на изгиб оправки EQ-MBT-12-LD .
• ВЫСОКОЕ НАПРЯЖЕНИЕ! Распыляющие головки подключаются к высокому напряжению. В целях безопасности оператор должен выключить ВЧ-генератор перед загрузкой образца и операциями смены мишени.
• НЕ используйте водопроводную воду в водоохладителях. Используйте охлаждающую жидкость, деионизированную воду, дистиллированную воду или антикоррозионные добавки с водой.
•