Двойная труба (100/80 мм) - скользящая печь CVD и 4-канальная газо-вакуумная система
- Производители TMAX
- Модель:TMAX-1200X-4-C4-SL-U
- Наличие:Есть в наличии
- Двойная кварцевая трубка: диаметр 100 мм. внешняя труба и подвешивается диаметром 80 мм внутренняя труба. Металлическая фольга (Graphene Growth Substrate) будет обернута вокруг внутренней поверхности пробирки для реакции CVD.
- Фланцы с вакуумным уплотнением для двойной трубки, которые позволяют химически активным газам течь между двумя трубками (расстояние 10 мм) и инертному газу внутри трубки для охлаждения
- 4 газовых канала, управляемые 4 отдельными цифровыми MFC
- Вакуумный насос поставляется с адаптером KF25 и трубкой для подключения и работы.
- На дне однозонной печи установлен рельс скольжения, что позволяет быстро нагревать или охлаждать печь скольжением с одной стороны на другую.
- Один скользящий стопорный зажим включен для удержания печи в нужном положении.
Структура печи |
Единая зона нагрева
|
Двойная зона нагрева
Скользящие направляющие в двух направлениях для плавного движения печи.
|
|
| Мощность |
|
Двойная зона нагрева Мощность: 208-240 В переменного тока, 50/60 Гц, одна фаза, 4 кВт (требуется прерыватель 50 А) 10-футовый кабель питания без вилки (попросите квалифицированного электрика установить вилку) |
|
| Температура нагрева |
|
||
| Скорость нагрева и охлаждения |
Максимум. скорость нагрева и охлаждения зависит от рабочей температуры. Пожалуйста, нажмите на таблицы ниже, чтобы увидеть Макс. скорость нагрева и охлаждения варьируется в зависимости от диапазона температур.
|
||
| Трубки из плавленого кварца |
Две пары герметичных фланцев с рубашками водяного охлаждения и игольчатыми клапанами из нержавеющей стали
|
||
|
|
Использование двойной трубки для индукции роста CVD на металлической фольге (обернутой вокруг внутренней поверхности трубки):
Предельное давление вакуума: 10 ^ -2 торр (механическим насосом) |
||
|
|
|
||
|
|
| ||





