Компактная структура

Входная мощность

• Однофазный 220 В переменного тока 50/60 Гц
• 2000 Вт (включая вакуумный насос и чиллер)

Источник питания

• Три источника питания для распыления интегрированы в один блок управления (нажмите на картинку ниже, чтобы увидеть подробные характеристики)
  • Источник постоянного тока: мощность 500 Вт для покрытия металлических материалов (Рис. 1).
  • Источник RF: мощность 300 Вт, частота 13,56 МГц для покрытия непроводящих материалов (Рис 2)

Головка для магнетронного распыления

• В  комплект входят три 2-дюймовые магнетронные распылительные головки с рубашками водяного охлаждения и заслонками.
• Также доступна одна модель с распылительной головкой.
  • Требование к целевому размеру: диаметр 2 дюйма
  • Диапазон толщины: 0,1 - 5 мм для металлических и непроводящих целей (включая опорную пластину)
  • Одна мишень из  нержавеющей стали  и одна мишень исследовательского класса  Al2O3  включены для демонстрационного тестирования.
  • Дополнительные 2-дюймовые мишени для распыления (или опорная пластина) доступны по запросу за дополнительную плату.
  • Рекомендуемый рецепт распыления и полезные советы
• Устройство для нанесения покрытий по индивидуальному заказу: два DC - один RF; Два RF - один DC; Три DC; Три RF (пожалуйста, выберите из опций продукта)
• Дополнительно: радиочастотный кабель длиной 148 см можно заказать для замены за дополнительную плату.

Вакуумная камера

• Вакуумная камера: диаметр 300 мм. x 300 мм Высота, из нержавеющей стали
• Окно просмотра: две части диаметром 100 мм. стекло. Один фиксированный; один съемный для очистки и замены
• Крышка откидного типа с пневматической опорой позволяет легко менять цель

Образец Стадии

• Держатель образца представляет собой вращающийся и нагреваемый столик из керамического нагревателя с медной крышкой.
• Размер держателя образца: диаметр 140 мм. за. 4 дюйма макс.
• Скорость вращения: от 1 до 20 об / мин, регулируемая для равномерного покрытия.
• Температура держателя регулируется от комнатной температуры до 500 ° C (максимум 2 часа) с точностью +/- 1,0 ° C с помощью цифрового регулятора температуры.

Контроль расхода газа
 

• Установлены два прецизионных регулятора массового расхода (MFC), позволяющие вводить два типа газов.
  • Скорость потока: 0 - 200 мл / мин и 0 - 100 мл / мин, регулируемая на панели управления с сенсорным экраном.
• Для сброса вакуума установлен впускной воздушный клапан.

Вакуумная насосная станция 

• Включена мобильная насосная станция. Установка для нанесения покрытия распылением может быть размещена наверху станции.
• Высокоскоростной турбонасос со скоростью 80 л / с в сочетании с двухступенчатым механическим насосом (220 л / мин) для максимального уровня вакуума и более высокой скорости откачки.
• Стандартный уровень вакуума, связанный с камерой: <4.0E-5 Торр. . (1.0E-6 Торр с камерной выпечкой)
• Необязательно за дополнительную плату
• Если выбрать высокоскоростной турбонасос 150 л / с, вакуум может достигать 10-6 торр с камерой (6х10-7 торр с выпечкой).
• Для сверхвысокого вакуума до 10-7 торр в дополнение к турбонасосу требуется геттерный насос (100 л / с H2 и O2). Пожалуйста, проконсультируйтесь с нашими инженерами для подробной настройки.
•  Высокоскоростной турбонасос 150 л / с        
•   Геттерный насос
• 

Охладитель воды

• В  комплект входит один охладитель рециркуляционной воды с цифровым контролем температуры  . 
• Диапазон охлаждения: 5 ~ 35 ° C
• Расход: 16 л / мин.
• Давление насоса: 14 фунтов на квадратный дюйм

Необязательный

• Точный монитор толщины кварцевой  пленки  является дополнительным, который может быть установлен в камеру для контроля толщины покрытия с точностью до 0,10 Å.
• Прецизионные  системы анализа тонких пленок и покрытий - EQ-TFMS-LD  доступны за дополнительную плату
• По запросу и за дополнительную плату доступны различные 2-дюймовые оксидные и металлические мишени. Серебряные эпоксидные и медные опорные пластины можно заказать на TMAX.

Общие размеры

Вес нетто устройства для нанесения покрытий

• 160 кг

Вес и габариты в упаковке

• Всего 3 поддона
• 365 фунтов, 48 дюймов x 40 дюймов x 45 дюймов
   
• 390 фунтов, 48 дюймов x 40 дюймов x 49 дюймов
   
• 210 фунтов, 48 дюймов x 40 дюймов x 30 дюймов
   

Согласие

• Сертификат CE
• Сертификат MET (UL 1450) предоставляется по запросу за дополнительную плату. Пожалуйста, свяжитесь с нашим торговым представителем для уточнения цены. 

Гарантия

• Ограниченная гарантия сроком на один год с пожизненной поддержкой

 Примечания по применению
 

• Двухступенчатый регулятор давления (не входит в комплект) должен быть установлен на газовом баллоне, чтобы ограничить выходное давление газа ниже 0,02 МПа для безопасного использования.
• Чтобы удалить кислород из камеры, TMAX предлагает вам использовать 5% водорода + 95% азота для очистки камеры 2-3 раза, что может снизить уровень кислорода до <10 ppm.
• Для плазменного распыления используйте аргон чистотой> 5N. Несмотря на то, что чистота Ar 5N обычно содержит 10–100 частей на миллион кислорода и H2O, в зависимости от поставщика. TMAX предлагает вам использовать  устройство  очистки газа для очистки газа перед заправкой.
• Для лучшей производительности, непроводящие цели должны быть установлены с медным опорной плитой. Пожалуйста, обратитесь к видео с инструкциями ниже для целевого бондинга. 
• TMAX поставляет монокристаллическую подложку от А до Я
• Установки для распыления TMAX успешно нанесли ZnO на  подложку из Al 2 O 3 при 500 ° C.
• Проверьте гибкость тонкопленочного электрода / электрода с покрытием с помощью  тестера на изгиб оправки EQ-MBT-12-LD .
• ВЫСОКОЕ НАПРЯЖЕНИЕ! Распыляющие головки подключаются к высокому напряжению. В целях безопасности оператор должен выключить генератор ВЧ / постоянного тока перед загрузкой образца и операциями смены мишени.
• НЕ используйте водопроводную воду в водоохладителях. Необходимо использовать охлаждающие жидкости для защиты от ржавчины, чтобы предотвратить ржавчину и коррозию.