Печь

структура

Компактная 4-дюймовая трубчатая печь RTP ( двухслойная муллитовая футеровка из стального корпуса)

Нагревательный элемент

Галогенная лампа 8 шт (D = 10 L = 300 T = 200, мм)

Рабочая температура.

1100 ° C макс. ( Максимальное время выдержки в этой печи RTP должно быть менее 600 секунд при 1000 ° C ~ 1100 ° C, в противном случае уплотнительное кольцо может плавиться  )
               

Максимальная скорость нагрева

50 ° C / сек

Максимальная скорость охлаждения

64 ° C / мин (в вакууме: 200 мторр), 117 ° C / мин (при атмосферном давлении)  

Зона нагрева

Длина 12 дюймов с зоной постоянной температуры 4 дюйма в пределах +/- 1 ° C

Программа Темп. Контроллер

Кварцевая трубка и держатель образца

• Размер кварцевой трубки: внешний диаметр 4,33 дюйма x внутренний диаметр 4,05 дюйма x  длина 16,2 дюйма
• Держатель образца диаметром 3 дюйма вставлен в скользящий фланец, который изготовлен из кварца.
• Одна пластина AlN диаметром 3 дюйма помещается в центр держателя для отжига образца диаметром до 3 дюймов.
• AlN имеет очень высокую теплопроводность, что обеспечивает наилучшую однородность температуры в области образца.
• Держатель образца снимается с фланца.

Вакуумный фланец

Фланец для высокого вакуума KF-D25 изготовлен из нержавеющей стали с двойной температурой. силиконовые уплотнительные кольца, игольчатые клапаны.
Скользящий фланец упрощает загрузку образца. 3-дюймовый кварцевый держатель образца. Вставляемая термопара для точных измерений. 
               

Рубашка водяного охлаждения

• Требуется охлаждающая вода.
• Убедитесь, что расход охлаждающей воды ≥ 10 л / мин, температура воды. <25ºC; давление> 25 фунтов на квадратный дюйм.
• Мы предлагаем использовать чиллер с рециркуляцией воды  серии EQ-KJ5000  в качестве системы охлаждения (заказывайте отдельно в сопутствующих продуктах ниже) для экономии воды.   

Предупреждение: максимальное время выдержки этой печи RTP должно быть менее 600 секунд при 1000ºC ~ 1100ºC с водопроводной водой, в противном случае уплотнительное кольцо может расплавиться. При использовании чиллера с рециркуляцией воды это время выдержки может быть увеличено до 1200 секунд.

Расходомер

На передней панели установлен один расходомер для регулировки расхода газа от 0 до 160 мл / мин. 

Входная мощность

208-240 переменного тока, 50/60 Гц, однофазный, 9 кВт макс. (Требуется выключатель> 60A)

Станция ВН Станция
высокого вакуума

Структура

• Размер мобильной тележки: 600 (Д) х 600 (Ш) х 700 (Ш), мм
• Максимум. Загрузка: 600 фунтов сверху
• Панель управления молекулярным насосом: цифровой ЖК-дисплей
• Мембранный насос  и   турбомолекулярный насос  установлены внутри стального корпуса. 

Степень вакуума

6,3E-5 мбар (с трубчатой ​​печью 4 "RTP за 40 минут)

Панель управления

• Управление одной кнопкой - мембранный насос и турбомолекулярный насос запускаются после нажатия кнопки «Пуск». 
• Управляемая системой скорость вращения - контроллер будет управлять скоростью вращения турбины вверх и вниз в соответствии с уровнем вакуума и скоростью утечки в реакционной камере. 
• Самозащита - система защитит насос от повреждения из-за перегрева и перегрузки по току, если скорость утечки реакционной камеры слишком высока для достижения высокого вакуума.  

• ЖК-экран - интерфейс проверки параметров с двойными линиями упрощает работу.