Входная мощность
 

• Однофазный 220 В переменного тока, 50/60 Гц
• 1000 Вт (включая вакуумный насос и чиллер)
• Если напряжение составляет 110 В, трансформатор мощностью 1500 Вт можно заказать в TMAX.

Источник питания


  

• ВЧ-генератор мощностью 13,5 МГц, 100 Вт с ручным согласованием включен и подключен к распылительным головкам.
• Время непрерывной работы:
  • 100 Вт: ≤ 1 час
  • 80 Вт: ≤ 1,5 часа
  • 70 Вт: ≤ 2 часа
  • 60 Вт: ≤ 4 часа
  • 50 Вт: ≤ 8 часов
• Диапазон нагрузки: от 0 до 80 регулируется. Диапазон настройки: -200j - 200j регулируемый
• Поворотный переключатель может активировать одну распылительную головку за раз. Возможность переключения распылительных головок «в плазме» (отсутствие разрыва вакуума и плазмы при многослойном процессе).
• С источником питания постоянного тока устройство для нанесения покрытий может быть легко преобразовано в 1-дюймовые источники распыления постоянного тока для нанесения металлической пленки, что позволяет использовать три конфигурации распылительной головки постоянного тока, одну ВЧ / два постоянного тока и две ВЧ / одну постоянную конфигурацию  (рисунок внизу слева. Параметры продукта)
• Дополнительный радиочастотный генератор мощностью 300 Вт с автоматическим согласованием доступен за дополнительную плату. 

Головка для магнетронного распыления

 

• В комплект входят три 1-дюймовые магнетронные распылительные головки с рубашками водяного охлаждения, которые вставляются в кварцевую камеру с помощью быстроразъемных зажимов.
• Замену радиочастотного кабеля можно приобрести на TMAX.
• На фланце встроена одна заслонка с ручным управлением (см. Рис. 3).    
• Один циркуляционный водоохладитель на 10 л / мин с цифровым управлением включен для охлаждения распылительных головок.
• 

Мишень для распыления

• Требование к целевому размеру: диаметр 1 дюйм x толщина 1/8 дюйма макс.
• Диапазон расстояний распыления: 50-80 мм регулируется
• Диапазон углов распыления: 0-25 ° регулируемый 
• Медная мишень диаметром 1 дюйм и мишень из Al 2 O 3  включены для демонстрационных испытаний.
• Различные мишени для распыления оксидов 1 ”доступны по запросу за дополнительную плату.
• Для целевого соединения в комплект входят медные опорные пластины 1 мм и 2 мм. Серебряная эпоксидная смола (Рис. 1) и дополнительные медные опорные пластины (Рис. 2) можно заказать на TMAX.

Вакуумная камера

• Вакуумная камера: 256 мм OD x 238 мм ID x 276 мм Высота, изготовлена ​​из кварца высокой чистоты
• Уплотнительный фланец: диаметр 274 мм. из алюминия с высокотемпературным силиконовым уплотнительным кольцом
• Защитный кожух из нержавеющей стали включен для 100% экранирования радиочастотного излучения из камеры.
• Максимальный уровень вакуума: 1.0E-5 Торр с дополнительным турбонасосом и камерой выпечки 

Держатель образца

• Держатель образца представляет собой вращающийся и нагреваемый столик из керамического нагревателя с крышкой из нержавеющей стали.
• Размер держателя образца: диаметр 50 мм. за. Макс. Размер пластины 2 дюйма (см. Рисунок ниже)
• Скорость вращения: от 1 до 10 об / мин, регулируемая для равномерного покрытия.
• Температура держателя регулируется от комнатной температуры до 600 ° C макс (5 мин макс при 600 ° C; 2 часа макс при 500 ° C) с точностью +/- 1,0 ° C с помощью цифрового регулятора температуры.

Вакуумный насос  

• Вакуумный порт KF40 встроен для подключения к вакуумному насосу.
• Уровень вакуума: 1.0E-2 Торр с включенным двухступенчатым механическим насосом
• 1.0E-5 Торр с дополнительным турбонасосом           

Необязательный

• Прецизионный кварцевый датчик толщины не является обязательным. Его можно встроить в камеру для контроля толщины покрытия с точностью до 0,1 Å (требуется водяное охлаждение).
  • Простое USB-подключение к ПК для удаленного контроля толщины и скорости нанесения покрытия
  • В комплекте 5 кварцевых датчиков (расходные материалы) 
  • Удаленное управление терморегулятором с ПК не является обязательным.
  • Простое USB-подключение к ПК для удаленного контроля температуры
  • В комплект входит программное обеспечение для контроля температуры. Модуль совместим с LabView.
• Для магнетронного распыления на постоянном токе рекомендуется турбонасос (рис. 3).
• Реактивное распыление N 2  или O 2  доступно с дополнительной станцией управления смешиванием газов.
• 

Размер

• 540 мм Д x 540 мм Ш x 1000 мм В

Нетто

• 60 кг

Согласие

• Сертификат CE
• Сертификат MET (UL 1450) предоставляется по запросу за дополнительную плату, пожалуйста, свяжитесь с нашим торговым представителем для получения расценок. 

Гарантия 

• Ограниченная гарантия сроком на один год с пожизненной поддержкой 

Примечания по применению
  

• Эта компактная 1-дюймовая установка для нанесения покрытий с магнетронным распылением предназначена для нанесения тонких оксидных пленок на оксидные монокристаллические подложки, которые обычно не требуют установки в высоком вакууме.
• На газовом баллоне должен быть установлен двухступенчатый регулятор давления (не входит в комплект), чтобы ограничить выходное давление газа до уровня ниже 0,02 МПа для безопасного использования. Пожалуйста, используйте газ Ar чистотой> 5N для плазменного распыления.
• Для лучшей адгезии пленки к подложке, пожалуйста, очистите поверхность подложки перед нанесением покрытия:
  • Ультразвуковая очистка в следующих последовательных ваннах - (1) ацетон, (2) изопропиловый спирт - для удаления масла и жира. Высушите основу с помощью N2, затем запекайте в вакууме, чтобы удалить впитавшуюся влагу.
  • Плазменная очистка может потребоваться для придания шероховатости поверхности, активации поверхностных химических связей или дополнительного удаления загрязнений.
  • Тонкий буферный слой (~ 5 нм), такой как Cr, Ti, Mo, Ta, может быть нанесен для улучшения адгезии металлов и сплавов.

• Для лучшей производительности, непроводящие цели должны быть установлены с медным опорной плитой. Пожалуйста, обратитесь к видеоинструкции ниже (# 3) для целевого приклеивания.
• TMAX поставляет монокристаллическую подложку от А до Я 
• Установки для плазменного напыления TMAX RF успешно нанесли ZnO на  подложку из Al 2 O 3 при 500 ° C (профиль XRD на Рис. 5)
• Проверьте гибкость тонкопленочного электрода / электрода с покрытием с помощью  тестера на изгиб оправки EQ-MBT-12-LD .
• ВЫСОКОЕ НАПРЯЖЕНИЕ! Распыляющие головки подключаются к высокому напряжению. В целях безопасности оператор должен выключить ВЧ-генератор перед загрузкой образца и операциями смены мишени.
• НЕ используйте водопроводную воду в водоохладителях. Используйте охлаждающую жидкость, деионизированную воду, дистиллированную воду или антикоррозионные добавки с водой.
•