Особенность

• Специально разработан для покрытия проводящей золотой пленки для образца SEM
• Компактная установка для плазменного напыления, предназначенная для металлических покрытий, таких как золото, платина и серебро.
• Одна  2-дюймовая золотая (4N) мишень  входит в комплект.

Входное напряжение 

• 220 В переменного тока, 50/60 Гц, 200 Вт
• <1000 Вт (включая мощность вакуумного насоса)
• Питание 110 В переменного тока обеспечивается трансформатором мощностью  1000 Вт (предохранитель 15 А) . Трансформатор продается отдельно.

Выходное напряжение

• 500 В постоянного тока

Ток распыления

• 0-50 мА (макс.) Регулируемый ток распыления
• Цифровой измеритель тока (мА)
• Защита от сверхтока

Время распыления

• 1-120 секунд регулируется

Камера для образцов

• Трубка из кварцевого стекла, наружный диаметр 165 мм. x 150 мм ID x 150 мм Высота

Образец Стадия

• 2 дюйма диаметром
• регулируется по высоте, 30 - 80 мм от образца до мишени

Распылительная головка

• 2 "магнетронная распылительная головка
• Один затвор с ручным управлением для защиты цели

Давление вакуума

• Цифровой измеритель давления вакуума (Па)
• Соединитель вакуумного насоса KF25
• Предельное давление вакуума 1 Па с помощью механического насоса. Насос в комплект не входит

Вакуумный насос (опция)

 

• Рекомендуется двухступенчатый пластинчато-роторный насос EQ-FYP.
• Необязательно: вы можете использовать  турбонасос  для достижения вакуума 1,0E-5 Торр с помощью турбонасоса (щелкните изображение внизу справа).

Входной газ

• Для подключения баллона с инертным газом установлен один трубный обжимной фитинг Swagelok 1/4 дюйма.
• На передней панели находится один дозирующий клапан для регулировки подачи газа.

Цель

• Один диаметр 50 мм. x 0,12 мм золотая мишень входит в комплект
   
• Золотая фольга чистотой 4N: диаметр 50 мм (2 дюйма). x 0,12 мм (входит в комплект и предварительно устанавливается на устройство для нанесения покрытий) 
             
• Доступны дополнительные цели  (нажмите ниже, чтобы заказать)
  • Мишень из золота  (диаметр 50 мм x 0,12 мм, чистота 4N) 
  • Платиновая мишень  (диаметр 50 мм x 0,12 мм, чистота 4N)  
  • Мишень из серебра  (диаметр 50 мм x 0,5 мм, чистота 4N) 

Эта модель подходит для покрытия золота, серебра и платины. Он не подходит для покрытия мишеней из легких металлических материалов, таких как Al, Mg, Zn или углерод, из-за низкой энергии. Пожалуйста, обратите внимание на нашу высокомощную установку для нанесения покрытий с магнетронным напылением постоянного / высокочастотного или термического напыления.

Размер и вес продукта

• 460 мм (Д) × 330 мм (Ш) × 520 мм (В)
• 20кг

Вес и габариты в упаковке

• 80 фунтов
• 45 дюймов x 45 дюймов x 40 дюймов

Согласие

• Сертификат CE
• Готовы пройти сертификацию UL / CSA за дополнительную плату.

Гарантия

• Один год ограничен с пожизненной поддержкой

Примечания по применению  
    
 

• Для лучшей адгезии пленки к подложке, пожалуйста, очистите поверхность подложки перед нанесением покрытия:
  • Ультразвуковая очистка (щелкните изображение ниже, чтобы заказать) со следующими последовательными ваннами - (1) ацетон, (2) изопропиловый спирт - для удаления масла и жира. Высушите основу с помощью N2, затем запекайте в вакууме, чтобы удалить впитавшуюся влагу.
  • Плазменная очистка (для заказа щелкните изображение ниже) может потребоваться для придания шероховатости поверхности, активации поверхностных химических связей или дополнительного удаления загрязнений.
  • Тонкий буферный слой (~ 5 нм), такой как Cr, Ti, Mo, Ta, может быть нанесен для улучшения адгезии металлов и сплавов.

• На газовом баллоне должен быть установлен двухступенчатый регулятор давления (не входит в комплект), чтобы ограничить выходное давление газа до уровня ниже 0,02 МПа для безопасного использования. Пожалуйста, используйте газ Ar чистотой> 5N для плазменного распыления.
• Устройство для нанесения покрытия распылением может быть помещено в перчаточный ящик с газами Ar и N2 для нанесения покрытия.
• Пожалуйста, нанесите несколько слоев для увеличения толщины покрытия, пожалуйста, дайте машине остыть в течение сервальных минут между каждым использованием, так как у нее нет водяного охлаждения.
• ВЫСОКОЕ НАПРЯЖЕНИЕ! Распыляющие головки подключаются к высокому напряжению. В целях безопасности оператор должен выключить оборудование перед загрузкой образца и операциями по смене мишени.
• Эта модель не подходит для покрытия мишеней из легких металлических материалов, таких как Al, Mg, Zn или углерод, из-за низкой энергии. Пожалуйста, обратите внимание на нашу установку для нанесения покрытий методом магнетронного напыления или установку для нанесения покрытий термическим испарением. (Для получения подробной информации щелкните изображения ниже)