Структура печи и вакуумная камера

·  Двойной нагреватель, два регулятора температуры, двухканальные расходомеры газа интегрированы в передвижную раму из алюминиевого сплава.

·  Камера изготовлена ​​из плавленого кварца высокой чистоты.

·  Размер кварцевой трубки: наружный диаметр 11 дюймов / внутренний диаметр 10,8 дюйма x 9 дюймов высоты

·  Вакуумные фланцы изготовлены из нержавеющей стали 316.

·  Габаритные размеры: 850 (Д) × 745 (Ш) × 1615 (В) мм

Вакуумные фланцы

  

·  Верхний фланец с одним вакуумным портом KFD-25 и двумя выпускными отверстиями для газа (требуется труба 1/4 ") может сдвигаться вверх или вниз вручную, чтобы легко загружать и выгружать субстрат и испарившийся материал.

·  Нижний фланец имеет одно вакуумное отверстие KFD-25 с двумя входами для газа (требуется труба 1/4 ") и игольчатые клапаны.

·  Фланец уплотнен двойными силиконовыми уплотнительными кольцами и может обеспечить максимальное вакуумное давление 10E-2 Торр с помощью качественного механического насоса и 10E-5 Торр с помощью молекулярного насоса (вакуумный насос не входит в комплект, заказывается отдельно)

·  Прецизионный антикоррозионный цифровой вакуумметр входит в стандартную комплектацию  (С 2016.03.24) .

Расходомеры газа

На пульте управления установлены два поплавка с диапазоном измерения:

·  16 -160 мл / м 

·  400 - 4000 мл / м (для продувки) 

Нагреватель и держатель образца

·  Две коротковолновые инфракрасные лампы в качестве нагревательных элементов для быстрого нагрева.

·  Расстояние между двумя нагревателями регулируется от 10 до 50 мм.

·  Нагреватели изготовлены из нержавеющей стали с водяной холодной рубашкой, чтобы уменьшить тепловое излучение и обеспечить быстрое охлаждение

·   Встроенный 3-дюймовый круглый держатель пластин с верхним нагревателем для загрузки подложки

·  В комплект входит одна пластина из AlN с высокой теплопроводностью (диаметр 3 дюйма, толщина 0,5 мм), которая должна накладываться на обратную сторону подложки для равномерного нагрева.

·  Одна 3-дюймовая графитовая пластина может использоваться в качестве альтернативы для пластины AIN. Для заказа щелкните изображение ниже.

·  Замена галогенного лампового нагревателя возможна за дополнительную плату.

Регулятор температуры

·  Два прецизионных цифровых регулятора температуры с 30 программируемыми сегментами обеспечивают независимое управление верхним и нижним нагревателями.

·  Каждый контроллер имеет функцию автонастройки ПИД-регулятора для защиты нагревателей от перерегулирования и функцию аварийной сигнализации, чтобы избежать перегрева и разрыва тепловой пары.

·  Интерфейс связи с ПК и программное обеспечение установлено для (щелкните изображение ниже, чтобы узнать подробности), для записи температурного профиля, показанного ниже

Рабочая температура

·  Максимальная температура для каждого нагревателя: <= 650ºC

·  Максимальная разница температур между двумя нагревателями: <= 300ºC в зависимости от расстояния между двумя нагревателями:

o  Расстояние 30 мм Макс. разница температур: 315ºC только при нагревании дна

o  Расстояние 40 мм Макс. разница температур: 350ºC только при нагревании снизу

o  Расстояние 50 мм Макс. разница температур: 395ºC только при нагревании дна

Скорость нагрева и охлаждения

·  Нагрев: <8ºC / с (только обогрев одиночного нагревателя)

·  Охлаждение: <10 ° C / с (600 - 100 ° C) Макс.

Тепловая пара

Две термопары типа К (открытые) устанавливаются отдельно на верхний и нижний нагреватели.

Рабочее напряжение

208 - 240 В переменного тока, однофазный, воздушный выключатель 20 А

Требования к питанию

Всего 2200 Вт (1100 Вт для каждого нагревателя)

Необязательный

·  Требуется один вакуумный насос. Заказывайте отдельно, щелкнув первое изображение слева внизу. Уровень вакуума может достигать <= 10E-2 торр с помощью механического насоса. 

·  Если вы используете агрессивный газ, пожалуйста, подумайте об использовании антикоррозийного сухого насоса, показанного на втором рисунке слева ниже (насос Pfeiffer из Германии) за дополнительную плату.

·  Вы можете заказать охладитель оборотной воды для экономии воды отдельно.

·  Вы можете выбрать цифровую систему подачи газа MFC, нажав на первую картинку справа внизу

Гарантия

Ограничение на один год с пожизненной поддержкой (гарантия не распространяется на расходные материалы, такие как кварцевая трубка и нагревательные лампы)

Ноутбук, программное обеспечение и управление Wi-Fi (опционально)

·  Совершенно новый ноутбук с Microsoft Window 10 и Microsoft Office 2013 (30-дневная бесплатная пробная версия) для немедленного использования.

·  Система контроля температуры на основе Labview ( EQ-MTS01 ) позволяет пользователю редактировать температурный профиль, управлять рецептами термообработки, записывать и отображать данные для печей MTI. 

·  Беспроводной пульт дистанционного управления обеспечивает рабочий диапазон до 300 метров.

·  Вышеуказанные функции доступны по запросу за дополнительную плату (до 1000 долларов США). Пожалуйста, свяжитесь с нами для получения дополнительной информации.

· 

Примечание.  Программное обеспечение совместимо только с контроллером температуры Yudian от MTI · 

Примечания к применению

Пожалуйста, прочтите статью:  Высокоэффективная солнечная батарея CSS CdTe

Предупреждение

·  Трубчатые печи с кварцевой трубкой предназначены для работы в вакууме и при низком давлении <0,2 бар / 3 фунта на квадратный дюйм / 0,02 МПа. Вакуумное давление можно безопасно использовать только при температуре до 1000 ° C. Скорость потока газов должна быть ограничена до <200 SCCM (или 200 мл / мин) для уменьшения теплового удара в трубку.

·  Внимание : двухступенчатый регулятор давления должен быть установлен на газовом баллоне, чтобы ограничить давление ниже 3 фунтов на квадратный дюйм для безопасной работы.