Входное напряжение

• 220 В переменного тока 50/60 Гц 
• Питание 110 В обеспечивается трансформатором мощностью  1000 Вт (предохранитель 15 А ). Трансформатор продается отдельно.

Выходная мощность

• 1600 В постоянного тока
• 250 Вт
• 150 мА макс.
• Встроенная защита от перегрузки по току (> 150 мА)

Камера для образцов

• Трубка из кварцевого стекла, наружный диаметр 165 мм. X 150 мм ID x 250 мм Высота

Распылительная головка и
предметный столик

 

• В комплект входит 2-дюймовая гибкая магнетронная распылительная головка с рубашкой водяного охлаждения (Рис.1).
• Один предметный столик из нержавеющей стали диаметром 50 мм с возможностью вращения от 0 до 5 об / мин.
• Один затвор с ручным управлением для защиты цели. (Рис.2)
• Держатель распылительной головки доступен для удержания распылительной головки в нерабочем состоянии.
• Расстояние между распылительной головкой и предметным столиком регулируется от 60 до 100 мм.
• Максимальная площадь покрытия:  макс. Диаметр 4 дюйма. 
• Один  воздухоохладитель с рециркуляцией воды с потоком 10 л / мин  включен для охлаждения распылительной головки. (Рис.6)
• 

Панель управления

• 6-дюймовая цветная панель управления с сенсорным экраном и интеграцией ПЛК для упрощения работы
• Одна панель для контроля и управления всеми параметрами: вакуум, ток.

Максимальное давление вакуума

• Встроенный вакуумный порт KF25
• Система требует бензобака Ar с регулятором давления. (не включено)
• <1.0E-2 Торр лопастным  вакуумным насосом (не входит в комплект)  для мишеней из Au, Ag, Pt, Cu, Mo (не чувствительных к воздуху)
• <1.0E-5 Торр  турбомолекулярным насосом (не входит в комплект)  для мишеней из Al, Mg, Li, Lr, Ti, Zn (чувствительных к воздуху)
• Самый низкий вакуум может достигать <4.0E-6 Торр при откачке в течение ночи и запекании.

Газовая атмосфера

• Установлен один игольчатый клапан, позволяющий впуску газообразного аргона достичь лучшего плазменного покрытия.
• Система требует бензобака Ar с регулятором давления (не входит в комплект).

Цель

·               Одна медная мишень 2 дюйма включена для тестирования, размер мишени: 2 дюйма диаметром x 2,5 мм.

• Он также может покрывать  Ag, Al, Cr, Ni, Pt, Ti, Sn, Li, Mg и т. Д. Почти на все виды металлических материалов.   
• Предупреждение: На   этой машине можно наносить покрытие на алюминиевую, хромовую или никелевую мишень , но перед использованием ознакомьтесь с рекомендациями по нанесению покрытия.
• Пожалуйста, используйте RF плазменное магнетронное распыление для покрытия оксида алюминия

Дополнительный монитор толщины пленки

• Монитор толщины пленки не является обязательным за дополнительную плату
• Подогреваемый столик для проб до 500 ° C доступен по запросу за дополнительную плату.
• Расходомер для точного контроля входа газа доступен по запросу за дополнительную плату.

Габаритный размер

•   Д 440 мм × Ш 330 мм × В 290 мм

Нетто

• 20 кг

Вес и габариты в упаковке

• 160 фунтов
• 45 дюймов x 45 дюймов x 40 дюймов

Согласие
 

• Сертификат CE
• Сертификация NRTL доступна по запросу за дополнительную плату, пожалуйста, свяжитесь с нашим торговым представителем для получения расценок. 

Гарантия

• Один год ограничен с пожизненной поддержкой

Примечания по применению

• Предупреждение: распылительная головка подключена к ВЫСОКОМУ напряжению. Оператор должен носить перчатки во время работы.
• Перед нанесением покрытия убедитесь, что мишень, распылительная головка, подложка и нагревательный столик чистые. При каждом использовании необходимо использовать наждачную бумагу и спирт для очистки и свежести мишени из алюминия или никеля.