Лабораторная высокотемпературная ротационная трубчатая печь PECVD (наружный диаметр 60 мм) с одной зоной нагрева при макс.
- Производители TMAX
- Модель:TMAX-DSP-1200PECVD-X
- Наличие:Есть в наличии
Мощность |
3,5 кВт |
|
| Размер трубки |
Диаметр 60 (OD) X1200 мм |
|
| Размеры продукта (мм) |
Полный размер - 1300x420x1200 |
|
| Скорость вращения трубки |
0-25 переменная об / мин |
|
| Угол наклона печи |
-10 - 30° |
|
| Функции |
1.
Две программируемые прецизионные температуры. контроллеры с 30 сегментами. 2.
Две отдельно управляемые зоны нагрева:
|
|
| Печные конструкции |
1.
Разъемная трубчатая печь с направляющей. 2.
Макс 1150ºC для непрерывного нагрева. 3.
Многопрограммируемые прецизионные цифровые регуляторы температуры с 30 сегментами. 4.
Входная мощность: входное напряжение 208–240 В переменного тока, однофазное при макс. 4кВт |
|
| Плазменный источник питания RF |
1.
Выходная мощность: 5-500 Вт, регулируемая со стабильностью ± 1%. 2.
Частота RF: стабильность 13,56 МГц ± 0,005%. 3.
Мощность отражения: 10 Вт макс. 4.
Соответствие: автоматический 5.
Выходной порт RF: 50 Ом, тип N, розетка 6.
Шум: <30 дБ. 7.
Охлаждение: воздушное охлаждение. 8.
Питание: 208-240 В переменного тока, однофазное, 50/60 Гц. |
|
| Антикоррозийный манометр |
1.
Диапазон измерения от 3,8x10 -5 до 1125 торр 2.
Антикоррозийный, газовый независимый 3.
Высокая точность и воспроизводимость при атмосферном давлении для надежного определения атмосферного давления. 4.
Быстрое обнаружение атмосферы исключает время ожидания и сокращает технологический цикл. 5.
Легко заменяемый сенсорный элемент Plug & Play |
|
| Вакуумная насосная станция и клапаны |
1.
Высокоскоростной
(120 л / мин) безмасляный сухой вакуумный насос Pfeiffer с ограничением
10E-3 торр установлен внутри сверхмощной мобильной тележки. 2.
Переходник
KF25 и труба из нержавеющей стали соединяются между насосом и трубным
фланцем с шаровым клапаном для обеспечения возможности подключения
заказчика 3. В
технологической трубке может быть достигнут вакуум 10E-2 Торр. |
|
| Массовые расходомеры и газосмесители |
Он устанавливается в сверхмощную передвижную тележку, на которой трубчатая печь может быть размещена наверху. Встроенный сенсорный ЖК-экран обеспечивает легкое управление расходом газа в каждом независимом канале. 1.
Рабочая температура: 5 ~ 45 ºC 2.
Макс. Давление: 3x10 6 Па 3.
Точность: ± 1,5% полной шкалы. 4.
Лайнер: ± (0,5-1,5)% полной шкалы 5.
Двойная точность: ± 0,2% полной шкалы. 6.
Диапазон управления: 5,10,20,30,50,100,200,300,500SCCM или 1,2,3,5,10SLM. |
|
| Скорость нагрева и охлаждения |
|


