Входная мощность

• Однофазный 220 В переменного тока, 50/60 Гц
• 700 Вт (включая вакуумный насос)
• Для использования 110 В переменного тока мы включим для вас трансформатор. Пожалуйста, выберите напряжение в опциях продукта.

Выходная мощность

• 1600 В постоянного тока
• 40 мА макс.

Вакуумная камера

• Вакуумная камера: 150 мм ID x 165 мм OD x 150 мм H, изготовлена ​​из кварца высокой чистоты
• Уплотнительный фланец из нержавеющей стали с плоским уплотнительным кольцом

Ступень с подогревателем

• Размер сцены: диаметр 50 мм.
• Диапазон расстояний распыления: 25-40 мм регулируется
• Вращающийся столик с тремя положениями распыления (управляется сенсорным экраном)
•  Встроенный нагреватель подложки с максимальной температурой нагрева 500 ° C.
• ПИД-регулятор температуры с точностью +/- 1 ° C интегрирован в сенсорный экран

Панель управления

• 6-дюймовый цветной сенсорный экран со встроенным ПЛК для упрощения работы
• Вакуумметр, измеритель тока распыления и контроль температуры подложки интегрированы в сенсорную панель.
• Ручки регулировки на передней панели для управления впуском газа и током распыления
• Положение распыления, таймер распыления и регистрация процесса доступны с сенсорного экрана.

Щит

•  Защитный кожух из нержавеющей стали  включен для дополнительной защиты

Мишени для распыления

• Требования к целевому размеру: диаметр 47 мм. x 2,5 мм макс.
• В стандартный комплект для немедленного использования входят три мишени:
  • Мишень из золота, диаметр 47 мм. x 0,12 мм
  • Мишень Ag , диаметр 47 мм. х 0,5 мм
  • Медная мишень диаметром 47 мм. х 2,5 мм
• Различные мишени  доступны для заказа в MTI.

Вакуумный насос
(опция)

• Встроенный вакуумный порт KF25 для подключения к вакуумному насосу.
• Требуется вакуумный насос с разъемом KF25, но не входит в комплект. Пользователь может выбрать
  • Двухступенчатый механический вакуумный насос  для вакуума до 1.0E-2 Торр.
  • Или  турбонасос  для вакуума до 1.0E-5 Торр.
• Вакуумный насос можно подключить к розетке слева от устройства для нанесения покрытий для автоматического управления.
• 

    Размеры
    

•   440 мм Д × 330 мм Ш × 455 мм В

Нетто

• 50 кг

Согласие

• Сертификат CE
• Сертификат MET (UL 1450) предоставляется по запросу за дополнительную плату, пожалуйста, свяжитесь с нашим торговым представителем для получения расценок.

Гарантия

• Один год ограничен с пожизненной поддержкой

Примечания по применению

• Для лучшей адгезии пленки к подложке, пожалуйста, очистите поверхность подложки перед нанесением покрытия:
  • Ультразвуковая очистка в следующих последовательных ваннах - (1) ацетон, (2) изопропиловый спирт - для удаления масла и жира. Высушите основу с помощью N2, затем запекайте в вакууме, чтобы удалить впитавшуюся влагу.
  • Плазменная очистка может потребоваться для придания шероховатости поверхности, активации поверхностных химических связей или дополнительного удаления загрязнений.
  • Тонкий буферный слой (~ 5 нм), такой как Cr, Ti, Mo, Ta, может быть нанесен для улучшения адгезии металлов и сплавов.

• На газовом баллоне должен быть установлен двухступенчатый регулятор давления (не входит в комплект), чтобы ограничить выходное давление газа до уровня ниже 0,02 МПа для безопасного использования. Пожалуйста, используйте газ Ar чистотой> 5N для плазменного распыления.
• Устройство для нанесения покрытия распылением может быть помещено в перчаточный ящик с газами Ar и N2 для нанесения покрытия.
• ВЫСОКОЕ НАПРЯЖЕНИЕ! Распыляющие головки подключаются к высокому напряжению. В целях безопасности оператор должен выключить оборудование перед загрузкой образца и операциями по смене мишени.
• Эта модель не подходит для покрытия легких металлических материалов, таких как Al, Mg, Zn, Ni и т. Д., Из-за низкой энергии. Пожалуйста, обратите внимание на нашу установку для нанесения покрытий методом магнетронного напыления или установку для нанесения покрытий термическим испарением. Щелкните изображения ниже, чтобы узнать подробности