Входная мощность

· 220 В переменного тока, 50/60 Гц (110 В переменного тока доступны по запросу)

· Мощность 350 Вт Макс.

Требования к окружающей среде

· Только для внутреннего использования; Использование высоты до 5 500 футов;

· Температурный диапазон 41-104 градуса по Фаренгейту;

· Максимальная относительная влажность 80%, до 87 градусов по Фаренгейту, линейно снижающаяся до 50%, относительная влажность при 104 градусах по Фаренгейту;

· Колебания основного питания не должны превышать 10% от номинального напряжения; Категория перенапряжения II;

· Степень загрязнения 2; измерение уровня озона (окружающего) при <45 частей на миллиард.

Ультрафиолетовая лампа

· Цельнометаллическая двухволновая ртутная лампа 

·  Длина волны: 253,7 нм и 184,9 нм 

· Срок службы УФ-лампы: 5000 часов

· Площадь УФ-излучения: 200 x 200 мм 

·  Может очищать кристаллическую пластину диаметром до 12 дюймов x 35 мм.

· УФ-лампа поставляется отдельно с устройством, чтобы избежать возможных повреждений при транспортировке.

Камерный и эталонный столик

· Корпус из нержавеющей стали.

· Выдвижной ящик для легкой загрузки образцов

· Площадь предметного столика 310 мм x 320 мм (~ 12 "x 12")

· Макс. толщина образца: 40 мм

· Устройство для удаления озона встроено в камеру.

· Таймер колеблется от 0,01 секунды до 99,9 часа.

Нагреваемый столик для проб

· Столик для образца нагревается до 150ºC с помощью прецизионного регулятора температуры.

· Регулятор температуры имеет 20 программируемых сегментов с точностью +/- 2 ° C.

· Однородность температуры: <10 ° C в пределах 6 дюймов в диаметре; <20C в диаметре 12 дюймов

· Скорость нагрева: 15C макс. 

· Расстояние между предметным столиком и лампой регулируется от 20 мм до 40 мм.

Вентиляционный порт

· Вентиляционное отверстие диаметром 3 дюйма встроено в заднюю часть машины.

· Одна гибкая трубка длиной 10 футов и один вентиляционный зажим включены для подключения выхлопной трубы очистителя к лабораторной вентиляционной системе.

Измерение

· 510 мм x 350 мм x 400 мм (Ш x В x Г)

Нетто

· 62 фунтов

Вес и габариты в упаковке

· 160 фунтов

· 47 дюймов x 39 дюймов x 32 дюйма

Гарантия

2-летняя ограниченная гарантия с пожизненной поддержкой. На хрупкую УФ-лампу гарантия не распространяется.

Заявление

· Чистая силиконовая пластина, пластина из арсенида галлия, кварцевое стекло и стекло ITO

· Очистите все типы оксидных монокристаллических подложек, такие как сапфир, STO и LAO.

· Чистая поверхность золота и платины

· Окисляющая поверхность из легкого металлического материала.

· Активируйте полимеры и полимеры с поперечными связями

· УФ-полосы фоторезист / фоторезист

· Светодиодные экраны UV Clean Production Line