Структура и особенности

• 280 мм OD x 260 мм ID x 310 мм Высота кварцевой камеры для легкой очистки и загрузки образцов
• 2-дюймовые вращающиеся источники испарения для равномерного пленочного покрытия
• Нагреватель вольфрамовой спирали и тигель из оксида алюминия для высокотемпературного покрытия до 1700 ºC
• Прецизионный контроль температуры с 30 программируемыми сегментами и точностью +/- 1 ºC
• Высокий вакуум может быть достигнут до 1.0E-5 Торр с помощью дополнительного турбонасоса.
• Порт потока газа и клапан встроены для продувки камеры и возможности CVD

Входная мощность

• Входное напряжение: 208-240 В переменного тока, 50/60 Гц, однофазное (110 В переменного тока доступно через трансформатор мощностью 1500 Вт)
• Входная мощность: 1200 Вт
• выходная мощность: 12 В и максимальный ток 30 А. Рекомендуемый рабочий ток <30 А
• Кабель питания в комплекте без вилки
   

Контроль температуры и нагреватели

 

• Нагреватель с вольфрамовой спиралью с термопарой встроен в нижнюю часть глиноземного тигля (для контроля температуры (рис. 1). Размеры указаны на левом рисунке).
• Стандартная термопара типа S (в комплекте и установлена) - нагрев от 200 ºC до 1500 ºC (рис. 2)
• Дополнительная термопара типа B (за дополнительную плату) - нагрев от 1200 ºC до 1700 ºC
• Один цифровой регулятор температуры с 30 программируемыми сегментами и точностью +/- 1 ºC (рис. 3)
• Настройки времени терморегулятора указаны в секундах. Рекомендуется ограничить скорость нагрева / охлаждения до 0,3 ºC / с (или 20 ºC / мин) ниже 1200 ºC и ограничить до 0,15 ºC / с (или 10 ºC / мин) от 1200 до 1700 ºC.
• Для непрерывного нагрева выше 1300 ºC, пожалуйста, ограничьте время работы до менее 1 часа, чтобы продлить срок службы уплотнительного кольца нижнего фланца.
• Для быстрого нанесения покрытия при температуре до 2000 ° C, например, при нанесении углеродного покрытия, пользователь может удалить термопару, термоблок из оксида алюминия и тигель из оксида алюминия, загрузить испаряемый материал непосредственно в нагреватель вольфрамовой спирали и использовать текущий режим ручного управления (рис. 4). )

• В комплект входят четыре глиноземных тигля (до 1700 ºC) и два вольфрамовых нагревателя. Пожалуйста, обратитесь к разделу «Дополнительно» для заказа запасных частей.
• 

Поворотный держатель образца

• Один диаметром 50 мм. поворотный столик для проб и его заслонка установлены на верхнем фланце.
• Скорость вращения: 5 об / мин
• Расстояние от держателя образца до источника испарения регулируется от 40 мм до 85 мм.

Система анализа толщины пленки (опция)

Вакуум

• Вакуумный порт KF25 установлен для подключения к вакуумному насосу.
• Максимальный вакуум может достигать <1E-5 Торр при откачке в течение ночи с помощью дополнительного турбомолекулярного насоса.
• Для нанесения покрытия требуется вакуумный насос. Пожалуйста, выберите один из следующих вариантов продукта
  • Двухступенчатый роторно-пластинчатый вакуумный насос с пароуловителем для удаления масляного тумана, который может достигать разрежения до 1,0-2 Торр для испарения благородных металлических материалов, таких как золото, серебро и органические материалы. 
• 

Вход газа

• 1/4 штуцера встроен для продувки камеры или обработки формовочного газа
• Встроен один игольчатый клапан для регулирования расхода газа.

Необязательный

• Дополнительный глиноземный тигель и вольфрамовый змеевик можно заказать на TMAX за дополнительную плату.

Габаритный размер
 

Размер кварцевой камеры

 

Внешний диаметр : 280 мм (11 дюймов ) Внутренний диаметр: 260 мм (10,2 дюйма)
Длина: 310 мм (12,2 дюйма)
 

Согласие

• Сертификат CE

Гарантия

• Ограниченная гарантия сроком на один год с пожизненной поддержкой

Нетто

• 80 кг 

Вес и габариты в упаковке

• 200 фунтов, 40 дюймов x 30 дюймов x 32 дюйма

Примечания по применению

 

• Для достижения высокого вакуума, необходимого для испарения некоторых материалов, пользователь может
  • Проверьте камеру, уплотнительное кольцо и фланец на предмет наличия частиц, волокон или царапин. Протрите поверхность безворсовой тканью, смоченной изопропиловым спиртом (IPA).
  • Используйте нагревательную ленту, чтобы обжечь камеру при 150 ºC, и предварительно нагрейте змеевик и тигель до 500 ºC при перекачивании с помощью дополнительного турбонасоса в течение не менее 2 часов.
  • Прокачайте камеру в течение ночи без нагрева, если требуется вакуум выше 1.0E-5 Торр.
• ЗАПРЕЩАЕТСЯ запускать программу нагрева или увеличивать ток вручную без закрытой камеры и вакуума!
• ЗАПРЕЩАЕТСЯ выпускать вакуум и не прекращать откачку, когда устройство для нанесения покрытия находится в режиме испарения! Во время охлаждения нагревателя прекращайте откачку или сбрасывайте вакуум ТОЛЬКО при понижении температуры ниже 100 ºC!