Структура и особенности

• Кварцевая камера с наружным диаметром 6 дюймов и высотой 10 дюймов для легкой очистки и загрузки образцов
• Поворотный держатель образца диаметром 2 дюйма для равномерного нанесения пленочного покрытия
• Нагреватель вольфрамовой спирали и тигель из оксида алюминия для высокотемпературного покрытия до 1700 ºC
• Прецизионный контроль температуры с 30 программируемыми сегментами и точностью +/- 1 ºC
• Высокий вакуум может быть достигнут до 1.0E-5 Торр с помощью дополнительного турбонасоса.
• Порт потока газа и клапан встроены для продувки камеры и возможности CVD

Входная мощность

• Входное напряжение: 208 - 240 В переменного тока, 50/60 Гц, однофазное
• Входная мощность: 500 Вт
• Выходная мощность: макс. Ток 40 А. Рекомендуемый рабочий ток <20 А
• Кабель питания в комплекте без вилки
   

Контроль температуры и нагреватели

 

• Стандартная термопара типа S (в комплекте и установлена) - нагрев от 200 ºC до 1500 ºC (рис. 2)
• Дополнительная термопара типа B (за дополнительную плату) - нагрев от 1200 ºC до 1700 ºC
• Один цифровой регулятор температуры с 30 программируемыми сегментами и точностью +/- 1 ºC (рис. 3)
• Настройки времени терморегулятора указаны в секундах. Рекомендуется ограничить скорость нагрева / охлаждения до 0,3 ºC / с (или 20 ºC / мин) ниже 1200 ºC и ограничить до 0,15 ºC / с (или 10 ºC / мин) от 1200 до 1700 ºC.
• Для непрерывного нагрева выше 1300  ºC, пожалуйста, ограничьте время работы до менее 1 часа, чтобы продлить срок службы уплотнительного кольца нижнего фланца.
• Для быстрого нанесения покрытия при температуре до 2000 ° C, например, при нанесении углеродного покрытия, пользователь может удалить термопару, термоблок из оксида алюминия и тигель из оксида алюминия, загрузить испаряемый материал непосредственно в нагреватель вольфрамовой спирали и использовать текущий режим ручного управления (рис. 4). )
• В комплект входят четыре глиноземных тигля (до 1700 ºC) и два вольфрамовых нагревателя. Пожалуйста, обратитесь к разделу «Дополнительно» для заказа запасных частей.

Держатель образца

• Один диаметром 50 мм. поворотный столик для проб и его заслонка установлены на верхнем фланце.
• Скорость вращения: 5 об / мин
• Расстояние от держателя образца до источника испарения регулируется от 40 мм до 85 мм.

Монитор толщины пленки (дополнительно)

·      

• • Введите информацию о материале покрытия на основе включенной базы данных
  • Отображение общей толщины покрытия и скорости нанесения покрытия
• Прецизионные  системы анализа тонких пленок и покрытий - EQ-TFMS-LD  доступны за дополнительную плату

Вакуум

 

• Вакуумный порт KF25 установлен для подключения к вакуумному насосу.
• Максимальный вакуум может достигать <4.0E-6 Торр при откачке в течение ночи с помощью дополнительного турбомолекулярного насоса.
• Для нанесения покрытия требуется вакуумный насос. Пожалуйста, выберите один из следующих вариантов продукта
  • Без вакуумного насоса. Антикоррозийный емкостной мембранный манометр  для вакуума до 1.0E-6 Торр.
  • Двухступенчатый роторно-пластинчатый вакуумный насос с пароуловителем для удаления масляного тумана, который может достигать разрежения до 1,0-2 Торр для испарения благородных металлических материалов, таких как золото, серебро и органические материалы. 
  • 

Вход газа

• 1/4 штуцера встроен для продувки камеры или обработки формовочного газа
• Встроен один игольчатый клапан для регулирования расхода газа.

Необязательный

• Дополнительный  глиноземный тигель  и  вольфрамовый змеевик  можно заказать на TMAX за дополнительную плату.
• Всего 4 тигля с источниками испарения можно использовать для нанесения нескольких различных материалов, чтобы вырастить несколько слоев один за другим в одной и той же атмосфере камеры.

Габаритный размер

 

Размер кварцевой камеры

 

OD: 165 мм
ID: 150 мм
Длина: 250 мм
 

Согласие

• Сертификат CE           

Гарантия

• Ограниченная гарантия сроком на один год с  пожизненной поддержкой

Нетто

• 50 кг 

Вес и габариты в упаковке

• 130 фунтов, 40 дюймов x 30 дюймов x 32 дюйма

Примечания по применению

 

• Для достижения высокого вакуума, необходимого для испарения некоторых материалов, пользователь может
  • Проверьте камеру, уплотнительное кольцо и фланец на предмет наличия частиц, волокон или царапин. Используйте ткань без ворса, смоченную изопропиловым спиртом (IPA), чтобы протереть поверхность.
  • Используйте нагревательную ленту, чтобы запечь камеру при 150 ºC, и предварительно нагрейте змеевик и тигель до 500 ºC во время прокачки с помощью дополнительного турбонасоса в течение не менее 2 часов.
  • Прокачайте камеру в течение ночи без нагрева, если требуется вакуум выше 1.0E-5 Торр.
• Устройство для нанесения покрытий может быть помещено в перчаточный бокс с газом Ar или N2 для термического испарения материалов, чувствительных к кислороду и смирению, таких как металлический Li.
• ЗАПРЕЩАЕТСЯ запускать программу нагрева или увеличивать ток вручную без закрытой камеры и вакуума!
• ЗАПРЕЩАЕТСЯ выпускать вакуум и не прекращать откачку, когда устройство для нанесения покрытия находится в режиме испарения! Во время охлаждения нагревателя прекращайте откачку или сбрасывайте вакуум ТОЛЬКО при понижении температуры ниже 100 ºC!