РЧ генератор трубчатая печь ВЧ-генератор для трубчатой печи с наружным диаметром 50, 80 или 125 мм
- Производители TMAX
- Модель:TMAX-RF
- Наличие:Есть в наличии
Система PECVD состоит из трубчатой печи, кварцевой вакуумной камеры, вакуумной системы, системы подачи газа и системы электропитания ВЧ. В основном используется в: металлической пленке, керамической пленке, композитной пленке, графене и других материалах для выращивания. Легко увеличить функцию. плазменной очистки травления и травления. Система PECVD имеет преимущества высокой скорости осаждения, хорошей однородности, консистенции и стабильности.
| Диапазон выходной мощности |
0-500 Вт |
| Максимальная отраженная мощность |
200 Вт |
| рабочая частота |
RF：13.56MHZ±0.005% |
| Pw стабильность |
+/-0.1% |
| гармоническая составляющая |
≤ -50 дБн |
| Ширина RF |
0-600 мм регулируемый |
| Режим соответствия |
АВТО |
| Режим охлаждения |
воздух холодный |
| Шум |
<50 дБ |
| RF интерфейс |
50 Ом типа N |
| Входная мощность |
208-240 В 50/60 Гц |