Трехзонная двухтрубная (11 "/ 10") печь CVD (1200 ° C макс.) С экстрактором трубок для выращивания графена на больших площадях

Производители TMAX
Модель:TMAX-1100X-III-D11
Наличие:Есть в наличии

0р.

Описание
Характеристики
Отзывов (0)

TMAX-1100X-III-D11 - трехзонная двухтрубная печь с макс. рабочая температура 1200 ° С. Конструкция с двумя трубками позволяет выращивать CVD-пленку большой площади (~ 7000 см ^ 2) на металлической фольге, намотанной на внутреннюю поверхность трубки. Экстрактор туб позволяет оператору легко удалить внутреннюю тубу, не повреждая пленочные продукты, и быть готовым к следующему этапу переноса пленки. Это идеальный инструмент для производства листов графена или гибких электродов устройств накопления энергии.

ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ:

Функции	Конструкция с двойной кварцевой трубкой: наружная труба диаметром 280 мм (11 дюймов) и диаметром 254 мм (10 дюймов). внутренняя трубка. Металлическая фольга может быть намотана на поверхность внутренней трубки для выращивания пленки CVD. Экстрактор трубок с ручным управлением позволяет легко снимать внутреннюю трубку и готов для последующего переноса пленки. 36-дюймовая длинная зона постоянного нагрева обеспечивает трубчатую поверхность площадью 7000 см ^ 2 для выращивания графена на больших площадях с помощью CVD-метода на металлических подложках.
Зоны нагрева и температура. Контроль	Три зоны нагрева: (1230 мм, всего 48 дюймов L) Зона 1: 410 мм (16 дюймов) Зона 2: 410 мм (16 дюймов) Зона 3: 410 мм (16 дюймов) Зона постоянного нагрева: макс. 36 дюймов с точностью +/- 5 ° C при установке трех зон с одинаковой температурой. ПИД-регулятор температуры с 30 программируемыми сегментами и точностью +/- 1 ° C. Встроенная перегрев. и защиты от отказа TC. Высококачественные термопары типа K от Omega.
Рабочая температура	Максимум. Рабочая температура: 1200 ° C <1 час Непрерывная рабочая температура: 1100 ° C
Тарифы на отопление	Максимум. 10 ° C / мин (RT ~ 800 ° C) Максимум. 5 ° C / мин (800 ~ 1100 ° C)
Мощность	220 В переменного тока, трехфазный, 50/60 Гц 24 кВт Макс. Порошковый шнур в комплекте без вилки
Трубки для обработки	В комплект входят две трубки из плавленого кварца высокой чистоты: Наружная труба: 280 мм OD x 270 мм ID x 2070 мм L Внутренняя труба: 254 мм OD x 244 мм ID x 2310 мм L
Фланцы с вакуумным уплотнением	Пара фланцев SS304 плотно закрывает двойные трубы в корпусе с помощью набора высокотемпературных. силиконовые уплотнительные кольца (для получения подробной информации щелкните изображение слева). Порт KF25 с игольчатым клапаном установлен на правом фланце для подключения вакуумного насоса и ручного сброса давления. Правый фланец можно прикрепить к экстрактору трубок. Обжимной фитинг трубки 1/4 '' на левом фланце для подачи газа Механический манометр на левом фланце для контроля давления в трубке Термоблоки, прикрепленные к фланцам, устанавливают тепловой барьер для зоны постоянного нагрева. Вакуумная совместимость: 10 ^ -2 торр механическим насосом ; 10 ^ -4 торр молекулярным турбонасосом .
Экстрактор труб	К правому фланцу можно прикрепить ручной экстрактор трубок для извлечения труб диаметром 10 дюймов. внутренняя труба с пленочными изделиями по завершении процесса. Картинка слева иллюстрирует порядок работы.
Размер печи	5400L x 770W x 1500H мм (включая экстрактор для трубок)
Нетто	~600 kg
Вес и габариты в упаковке	1) 1500 фунтов, 97 дюймов x 39 дюймов x 74 дюйма 2) 1800 фунтов, 123 дюйма x 39 дюймов x 80 дюймов
Гарантия	Двухлетняя ограниченная гарантия на электрические детали. (Гарантия не распространяется на расходные материалы, такие как технологические трубки, уплотнительные кольца и нагревательные элементы)
Согласие	Сертификат CE Все электрические компоненты (> 24 В) сертифицированы UL / MET / CSA. Печь готова пройти сертификацию TUV (UL61010) или CSA за дополнительную плату.
Предупреждения	Все кварцевые трубчатые печи предназначены для работы под вакуумом и низким давлением <0,2 бара / 3 фунта на кв. Дюйм / 0,02 МПа. *Ttention* : Регулятор давления двухступенчатая должен быть установлен на газовом баллоне , чтобы ограничить давление до уровня ниже 3 PSI для безопасной эксплуатации. Определение предела вакуума для всех кварцевых трубчатых печей: * Давление вакуума можно безопасно использовать только при температуре до 1000 ° C При использовании горючих газов, таких как H2 и CH4, проконсультируйтесь с технической группой MTI по мерам безопасности. Мы настоятельно рекомендуем использовать печь в вытяжном шкафу с установленным детектором утечки H2 / CH4.