Трубчатая печь PECVD с 3 температурными зонами

Система TMAX-1200-1400-1200 состоит из вакуумной трубчатой ​​печи TL1200, кварцевой вакуумной камеры, высокочастотного источника питания, системы подачи газа GX, системы откачки и системы измерения вакуума.

Основные особенности:

1. Газ в кварцевой вакуумной камере переводится в ионное состояние с помощью высокочастотного источника питания.

2. PECVD ниже, чем обычное CVD для химического осаждения из паровой фазы.

3. Напряжение осаждаемых пленок можно контролировать с помощью частоты источника высокочастотного питания.

4. PECVD имеет высокую скорость осаждения, хорошую однородность, консистенцию и стабильность по сравнению с обычным CVD.

5. Широко используется при выращивании различных пленок, таких как SiOx, SiNx, SiOxNy и аморфный кремний (a-si: H) и т. Д.

Технология  системы TMAX1200-1400-1200-H-PE к шведскому нагревательному элементу сопротивления Kanthal, с использованием конструкции с двойной оболочкой и 30-программной таблицы контроля температуры, триггера фазового сдвига, тиристорного управления, печи с использованием поликристаллического материала из оксида алюминия, фланца из нержавеющей стали уплотнение на обоих концах трубы печи, установка фланца из нержавеющей стали имеет горловину, клапан и манометр, вакуум, степень вакуума может достигать 10-3 Па, низкотемпературная балансировка поля, температура поверхности, скорость подъема температуры, экономия энергии, ценовые уступки , так далее.

1. Провод сопротивления Kanthal A1, Швеция.

Kanthal A1 Оригинальная проволока Китайская проволочная печь сопротивления VS импортная проволочная печь сопротивления

(1), высокая температура поверхности может достигать 1420 ℃

(2) поверхность из нержавеющей стали (очень яркая, покупатель должен обратить на нее внимание), она не ржавеет, и во время использования не отваливается шлак.

(3) данные провода сопротивления Kanthal загружены

(4) Веб-сайт резистивного провода Kanthal: www.kanthal.com

(5) сопротивление сбалансировано, а температурное поле одинаково хорошее.

Большинство производителей используют сплав Fe-Cr, легированный резистивной проволокой из Мо, которая                  

Иногда сопротивление неравномерно и часть тепла мала. Сопротивление Kanthal A1 равномерное и сбалансированное по теплу, хороший эффект температурного поля.

2. Установка воздушного выключателя и устройства защиты от протечек:

При электрическом токе или утечке автоматически отключается пустая встреча.

3.  Может подключаться к компьютеру

Эта печь оснащена коммуникационным интерфейсом и программным обеспечением, можно напрямую управлять каждым параметром через компьютер печи, и можно наблюдать с компьютера PV на плите и значение температуры SV и работу прибора, фактическую температуру компьютера для рисования кривой печи в режиме реального времени и может сохранять данные о температуре каждый раз, может вызывать в любое время

4. Камера  

 (1 ) Высококачественная печь для отверждения поликристаллического волокна из высокочистого оксида алюминия с вакуумным отсосом и формованием с фильтром.

(2). Принять японские технологии в форму.

(3). Расстояние и шаг проволоки сопротивления в печи расположены в соответствии с лучшими тепловыми технологиями Японии, а температурное поле моделируется с помощью программного обеспечения для тепловых измерений.

 (4). При 4-недельном нагревании температура более сбалансирована.

5. Дополнительная электрическая панель, сертифицированная UL (полная сертификация UL импортных электроприборов)

6. Триггер

Триггер ограничения тока плавного пуска Большинство производителей используют триггеры Сямынь Боде без ограничения

1 триггер сдвига фазы (с плавным пуском и функцией ограничения тока)

2. Функция ограничения тока независимо от того, как регулировать время нагрева электрической печи после вторичного тока трансформатора, ограничивается до 170 А или менее ограниченная защита оборудования. Неограничивающий триггер, если скорость нагрева установлена ​​неправильно или слишком быстро. Слабый ток очень велик, устройство отключится или сгорит.

3 функция плавного пуска ток будет медленно увеличиваться ток влияние нагревательного элемента невелик, способствует продлению срока службы нагревательного элемента

4 функция защиты Если ток превышает предельный ток, триггер автоматически отключит функцию триггера, чтобы отключить печь защиты по току.

7. UL certified transformer

1 кабель трансформатора из чистой меди

2 звук трансформатора маленький

3 температура трансформатора низкая

8азнообразие вариантов выбора различных фланцев (диаметром от 25 до 250 мм)