Входная и выходная мощность

·  Вход: 208 - 240 В переменного тока, 20 А, 50/60 Гц, однофазный  

·  Общая требуемая мощность: 8 кВт (включая насос)

·  Другие 3-х фазные напряжения доступны по запросу

·  Выход: 5 В переменного тока макс. и 300A макс.

Вакуумная камера

·  Камера из нержавеющей стали: внутренний диаметр 280 мм. x 375 мм Высота, (~ 23 литра) Пескоструйная электролитическая полировка поверхности  

·  Смотровое окно 100 мм перед камерой

·  Дверца откидного типа для легкой загрузки образцов

· На  каждой испарительной лодке W установлены заслонки с ручным управлением, которые позволяют испарять 4 вида материала один за другим.

·  4 порта KF40 встроены в камеру для подключения к необходимому устройству

Вакуумный насос 

·  Включен высокоскоростной турбо-вакуумный насос, подключенный к вакуумной камере. (пожалуйста, нажмите на картинку слева вверху)

o  Скорость вакуума: 600 л / с

o  Уровень вакуума: 5,0x10 -6   Торр (после 40 минут откачки)

o  Предельный вакуум: 5,0x10 -7   Торр (после выпечки при 100-150 ° C)

o  Скорость утечки: 5,0x10 -7  Па.

o  Вакуумный порт: диаметр 150 мм

Источник испарения и держатель образца

·  Четыре вольфрамовых нагревательных лодки, поддерживаемые водяными холодными электродами.

·  Вольфрам нагрев лодка имеет размер 70 мм длина х 12 мм Ш х 3 мм H . Запасной Вт лодка предоставляется за дополнительную плату .

·  Каждая крыша лодки оборудована жалюзи с ручным управлением. 

·  Встроенная ручная заслонка позволяет использовать источник испарения без загрязнения

·  Вращающийся держатель образца диаметром 100 мм находится наверху камеры диаметром 260 мм, которая может быть нагрета до 600 ° C макс. через цифровой регулятор температуры с точностью + / 1 ° C

·  Расстояние между источником испарения и держателем образца регулируется от 150 до 300 мм.

Контроль толщины ( опция )

·  Один монитор и контроллер толщины пленки высокого разрешения не являются обязательными ( щелкните изображение ниже, чтобы увидеть подробные характеристики)

·  Точность контроля толщины 1.0А.

Устройство управления

·  Контроль вакуума, толщины и мощности интегрирован в один блок управления

·  Блок управления отделен от вакуумной камеры для облегчения перемещения

·  Вы можете разместить блок управления наверху вакуумной станции. 

Общие размеры

Д600мм × Ш860мм × В1500мм

Нетто

600 кг

Требования к оборудованию для установки

·  Площадь: 250 кв. Футов при высоте> 6 футов

·  Электропитание: 208 - 240 В переменного тока, однофазное, макс. 10 кВт (прерыватель 50 А)

·  Вода:> 15 л / мин проточной воды, необходимой для охлаждения электрода. Вы можете заказать охладитель рециркуляционной воды для экономии воды, нажав на картинку ниже за дополнительную плату.

Примечания по применению

·  Проверьте гибкость тонкой пленки / электрода с покрытием с помощью  тестера на изгиб оправки EQ-MBT-12-LD .

· 

Гарантийный талон

Двухлетняя ограниченная гарантия с пожизненной поддержкой

CE сертифицирован